技术编号:25528972
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及超声换能器技术领域,具体的,涉及电容式微机械超声换能单元及其制作方法和电容式微机械超声换能器。背景技术超声换能器在医学成像、治疗,工业流量计,汽车雷达,室内定位等多方面有应用。特别是在医学成像方面与x-ray,核磁成像并称为三大医学成像技术。但目前的超声换能器的发射强度和接收灵敏度仍有待提高。发明内容本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此,本发明的一个目的在于提出一种可通过低温工艺实现、发射强度和接收灵敏度较高的电容式微机械超声换能单元及其制作方法和电容式微机械超...
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