技术编号：25535148
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种储液槽储液状态侦测方法及装置。背景技术在某些半导体机台中，需要利用液体对半导体器件进行清洗或干燥处理。通常，需要监测储液槽内的液体的储液状态，以判断是否满足要求。所述液体的储液状态包括满(full)和空(empty)两种。通常，利用传感器来侦测干燥槽中液体的储液状态，在实际应用中，经常会出现传感器侦测错误而触发机台误报警的情况。机台误报警的缺点在于，一方面会导致半导体器件停留在储液槽内，影响到半导体器件的处理；另一方面会导致半导体机台停机次数增加，降低生产...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。