技术编号:25535156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体集成电路装备技术领域,尤其涉及一种磁浮重力补偿器。背景技术磁悬浮技术具有非接触、无摩擦、无磨损等特点,在半导体集成电路装备领域内具有广阔的应用前景。随着生产产率要求的不断提升,运动台的运行速度、加速度也随之提高,在z轴运动的执行器始终需要输出一个恒定的磁浮补偿力来抵消运动台本身质量及负载的重力作用,执行器持续工作产生的热量会引起温升和机械结构的形变,从而影响运动台的定位精度。为此业界提出了磁浮重力补偿技术,用来克服运动台的重力作用,大大减小z轴运动执行器的发热情况。但是现有技术中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。