技术编号：25541747
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种导电性组合物及其制造方法、导电体及其制造方法。本申请要求基于2018年11月15日在日本申请的日本专利特愿2018-214904号的优先权，在此里援引其内容。背景技术使用电子束和离子束等带电粒子束的图案形成技术正被作为光刻的下一代技术而备受期待。在使用带电粒子束时，要提高生产率，重要的是提高抗蚀剂层的灵敏度。因此，在曝光部分或被带电粒子束照射的部分产生酸，然后通过被称为曝光后烘烤(peb)处理的热处理促进交联反应或分解反应的高灵敏度的化学放大型抗蚀剂的是使用正成为主流。另外，近年来...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。