技术编号:25542372
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及气体传感器,特别地但不限制于微机械加工的金属氧化物气体传感器。背景技术金属氧化物(mox)气体传感器通常基于将金属氧化物膜沉积到限定在合适的衬底上或合适衬底内的感测电极上。微加工的mox气体传感器通常包含膜、膜内的加热器元件,以及直接接触金属氧化物(mox)层的电极。图1中示出了mox气体传感器的可能结构,其中,mox层沉积在膜上,与通过深反应离子蚀刻(drie)或湿法蚀刻(参见例如:d.briand等,“designandfabricationofhightemperaturemic...
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