弹性波装置的制作方法技术资料下载

技术编号:25543295

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本发明涉及弹性波装置。背景技术以往,弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了弹性波装置的一例。该弹性波装置在高声速支承基板上具有将低声速膜、压电膜依次层叠而成的层叠体、以及设置在压电膜上的idt电极。具有上述层叠体的弹性波装置虽然能够提高q值,但存在产生横模纹波这样的问题。在专利文献1中,为了抑制横模纹波,将idt电极作为倾斜型的idt电极。倾斜型的idt电极是指,通过连结与一个汇流条连接的多个电极指的前端而形成的假想线即包络线和通过连结与另一个汇流条连接的多个电极指...
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