技术编号：25599152
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制作领域，尤其涉及一种光罩及其制作方法。背景技术随着科技的进步和发展，液晶显示器得到了广泛的应用，其中，薄膜晶体管液晶显示器(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay,tft-lcd)由于具有低的功耗、优异的画面以及较高的生产良率等性能，目前逐渐占据了显示领域。tft-lcd中的彩色滤光基板主要由透明玻璃基板、黑矩阵层(bm层)和彩色光阻层(rgb层)等结构组成。上述结构各涂层的制作方法中的曝光过程普遍地要用到光罩(mask)，光罩对最终形成...
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