技术编号：2582273
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于制造平板显示器的设备(FPD)，其能够在其中建立真空气氛之后对FPD基板执行所需的处理，并且更具体地涉及FPD制造设备，其中真空室被分成室体以及上盖，从而所述上盖能够容易地打开和关闭。背景技术 平板显示器(FPD)制造设备被设计为馈送FPD基板到其中并且通过使用等离子体等对所述FPD基板执行所需的处理，如蚀刻处理。FPD的实例包括LCD、PDP、OLED等。在这样的FPD制造设备中，通常的真空处理设备包括三个真空室，包括负载锁定室(load ...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。