技术编号:25925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型适用于激光器技术领域,提供了一种用于密封的激光器光学腔内循环高度净化系统,包括真空泵、吸收盒和DFU(Disposable?Filter?Units,一次性过滤单元);所述真空泵对所述激光器光学腔内空气进行抽气;所述真空泵的出气口与所述吸收盒和所述DFU依次连接;所述DFU的出气口连接所述激光器光学腔内空气;所述吸收盒与所述真空泵和所述DFU的连接端均设有过滤网;所述吸收盒内设置有干燥剂、活性炭和分子筛。整个净化系统对激光器光学腔内空气的水分、有机气体分子和0.3um以上固体颗粒的去除作用达到10...
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