技术编号：25955052
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置。背景技术在高端光刻领域，高重频准分子激光因其高重频、窄线宽和大能量的特点，是目前半导体光刻领域应用的占绝对主导地位的光源。在高重频准分子激光器系统中，光学输出会遇到诸多问题，首先遇到的便是从放电腔发出的激光不能满足窄线宽和大能量需求。对此，一般采用增加具有一定反射率和透过率的输出耦合镜对输出激光进行折返振荡，使其增大能量并进行线宽压窄后输出。在输出耦合装置的调谐过程中，往往需要在谐振腔状态下花费较长时间调试才能够得到能量较高的输出光，而且输出...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。