技术编号：25998341
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请要求于2018年11月30日提交的美国临时申请第62/774,036号的权益和优先权，其内容以全文引用的方式并入。本公开的主题涉及用于在热蒸发工艺中共沉积材料的方法和设备。具体地，本文描述了用于热蒸发两种或更多种材料以形成涂层的设备和方法。背景技术热蒸发器通常用于在多种应用中沉积薄膜，包括用于制造光电装置、半导体装置和光学涂层。例如，包括有机发光二极管(oled)和有机光伏装置(opv)的光电装置的各种有机和/或无机层可以通过热蒸发工艺沉积。通常，通过蒸发或升华源材料并允...
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