技术编号:25998920
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种双光束蚀刻大幅面导电薄膜的激光加工装置及其方法。背景技术在触摸屏、光电、显示屏等技术领域,导电膜主要采用金属化合物或氧化物,如银浆(ag)、铜浆(cu)、氧化铟锡(ito)、纳米银线(snw)等导电材料。导电材料先印刷或喷涂在pet膜材或glass玻璃基底上,再使用化学蚀刻或激光蚀刻的方式加工图案。从制备工艺上,化学蚀刻的制程复杂且制作成本高昂,激光刻蚀的方式具有无接触、无污染、高精度、高质量等优点,应用越来越广泛。激光刻蚀的方式是将从激光器发射出的激光,经光路系统、振镜扫描系统聚...
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