技术编号：25999264
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及缺陷检测技术，尤其涉及一种缺陷检测装置。背景技术材料或器件的良率是衡量其的关键指标之一。这里的器件可为任何能够完成一定功能的结构，如mosfet、ic等电源器件，鳍式场效应晶体管、太阳能电池板等半导体器件，传动件、臂等机械器件；这里的材料为能用于制造上述器件的任何源材料，如晶圆等。对于器件，如其有缺陷，则将影响器件性能，甚至无法正常工作，对于材料，如其有缺陷，则由其形成的器件或产品具有存在异常的风险。因此，检测器件或材料的缺陷对于保证产品的良率尤为重要。上述的缺陷可为任何没有达到器件或...
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