技术编号：26001350
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及把持基板的机构，特别是涉及在对玻璃基板等脆性材料基板进行分割其他的加工的装置中，把持基板端部的机构。背景技术对玻璃基板等脆性材料基板(母基板)进行分割的装置广为人知，在这些装置中存在以下的装置：利用在水平面内与输送方向正交的方向上以规定的间隔配置的多个基板支承输送机构，从下方支承从外部搬入的基板，并且利用以规定的间隔配置的多个把持机构(夹紧机构)把持(夹紧)其后端部。作为基板支承输送机构，例示了输送机、带等(例如，参照专利文献1以及专利文献2)，所述输送机构成为沿着输送方向排列有多个在...
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