技术编号：26003038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及树脂组合物、感光性树脂组合物、固化膜、固化膜的制造方法、图案固化膜和图案固化膜的制造方法。背景技术包含硅氧烷键的高分子化合物(以下，有时称为聚硅氧烷)发挥其高的耐热性和透明性等，被用作液晶显示器、有机el显示器的涂覆材料、图像传感器的涂覆材料、以及半导体领域中的封固材料。另外，由于具有高的耐氧等离子体性，因此，也被用作多层抗蚀剂的硬掩模材料。使用聚硅氧烷作为能图案化形成的感光性材料时，要求可溶于碱显影液等碱性水溶液。作为可溶于碱显影液的手段，可以举出：使用聚硅氧烷中的硅烷醇基的手段；在...
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