光反射元件和空间光调制器的制作方法技术资料下载

技术编号:26007406

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本公开内容涉及一种光反射元件和包括多个这样的光反射元件的空间光调制器。背景技术设置有多个光反射元件的空间光调制器通常被用作投影仪和图像显示装置。例如,在美国专利申请公开第2006/0050353a1号中公开的光反射元件被配置为:设置在基板上的柱;两端固定至柱的带状铰链;一端附接至铰链的中央部分的铰链触点;和附接至铰链触点的另一端的镜板,其中在镜板的面向铰链的部分(光反射表面)处形成沟槽,光经由基板进入光反射元件的镜板,并且由镜板反射的光经由基板发射到外部。[引用列表][专利文献][ptl1]美国...
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