技术编号:26010402
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容涉及一种用于检测基板的设备及方法。此外,本公开内容的实施方式大体涉及一种用于分析电子装置,例如是大面积基板上的电子装置的聚焦离子束系统。更特别是,本文所述的实施方式涉及一种用于在用于显示器制造的基板(例如是大面积基板)上进行自动关键尺寸(criticaldimension,cd)测量的方法。特别是,实施方式涉及一种用于在用于显示器制造的基板上进行自动关键尺寸测量的方法、一种检测用于显示器制造的大面积基板的方法、以及一种用于检测用于显示器制造的大面积基板的设备及其操作方法。背景技术电子装...
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