技术编号：26010414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及分析装置和图像生成方法。背景技术专利文献1公开了一种方法，在使探针卡的多个探针和被检查体一并电接触进行被检查体的电特性检查时，调整安装于检查装置的探针卡的倾斜。在该方法中，使用针尖位置检测装置在探针卡的多个部位检测多个探针的平均针尖高度，基于上述多个部位各自的多个探针的平均针尖高度来求取探针卡的倾斜。然后，基于该结果，调整探针卡的倾斜。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-204492号公报发明内容发明要解决的技术问题本发明的技术在于能够容易地目视确认设置于探针卡的探针的高...
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