技术编号:26010418
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。相关申请案本申请案主张2018年12月18日申请的标题为“用于多模检验的光学模式选择(opticalmodeselectionformulti-modeinspections)”的第62/781,593号美国临时专利申请案的优先权,所述案的全文特此出于所有目的以引用的方式并入本文中。本发明涉及半导体检验且更具体来说,涉及选择用于半导体缺陷检验的光学模式。背景技术现代光学半导体检验工具使用比典型缺陷的尺寸显著长通常达一数量级或更多的波长。因而,检验工具无法解析缺陷且因此无法提供展示缺陷的图像;代替...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。