技术编号：26010460
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本非临时专利申请要求于2018年10月5日提交的美国临时专利申请号62/742,000的优先权和权益，其公开内容通过引用整体地结合于本文中。示例性实施例总体上涉及基板处理工具，更具体而言，涉及基板输送设备。背景技术在半导体处理中，双scara（选择性柔顺关节连接机械臂）臂机器人可用于传送晶片往返半导体处理模块。双scara臂机器人通常允许基板往返处理模块的快速交换，其中，快速交换可表示从处理模块移除一个基板，并且快速连续地将另一个不同的基板放置到相同处理模块，而不将双scara...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。