技术编号:26041324
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为一种硅片花篮结构。背景技术在太阳能电池行业领域内,需要对硅片表面进行绒面处理的工艺,在进行这些工艺之前,需要使用到花篮来对硅片进行存放。传统的一些花篮主要由一个固定式的框体及其内部的卡板等结构组成,将硅片放置到卡板内部的放置槽内从而达到存放的目的,但这类装置在长期使用后,卡板的内部会出现一些污渍,这些污渍残留在卡板内部的放置槽内,然后卡板又固定在框体的内部,导致了放置槽内部的污渍清理起来比较麻烦,为此我们提出了一种硅片花篮结构。实用新型内容(一)解决的技术问...
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