技术编号:26054600
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于金刚石加工技术领域,具体涉及一种用于金刚石表面平坦化加工的激光加工装置及方法。背景技术现有金刚石具有自然界最高的硬度、刚性、折射率和导热系数,以及极高的抗磨损性和化学稳定性等优越特性,在机械加工、光学材料、电子电器、宝石加工等领域被广泛应用,并且在光、热、电、声等高新技术领域中的应用前景非常广阔。人工合成金刚石与天然金刚石性能接近,打破了天然金刚石数量稀缺的限制,具有极大的市场价值。人工合成金刚石有单晶和多晶之分,多晶金刚石晶粒粗大,表面粗糙度差,还可能存在应力变形,需要对其进行平面整...
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