使用内部时钟改变的可配置麦克风的制作方法技术资料下载

技术编号:26057667

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相关申请的交叉引用本申请是与2020年1月27日提交的美国专利申请号16/773,079,的部分延续,该申请内容通过引用并入本文。本发明总体涉及用于使用内部时钟改变的可配置麦克风的系统和方法。背景技术mems(微机电系统)技术在麦克风中的应用,导致了高性能小型麦克风的发展。mems麦克风提供了高snr(信噪比)、低功耗、高灵敏度,并且在与表面安装组装工艺兼容的小型封装中可用。mems麦克风使用的是使用硅晶片在半导体生产线上制造的声传感器。不同材料的层被沉积在硅晶片的顶部,然后不需要的材料被蚀刻掉...
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