技术编号:26080568
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及异质结电池制造技术领域,尤其涉及一种用于异质结电池清洗制绒的机械手装置。背景技术随着太阳能的广泛应用,太阳能光伏板产业也蓬勃发展,高效perc、黑硅、n型双面、硅异质结(hjt)等高效电池的开发越来越受重视。其中硅基异质结(hjt)太阳电池的高转化效率、高开路电压、低温度系数、无光致衰减(lid)、无电致衰减(pid)、低制程工艺温度等优势成为了最热门研究方向之一。hjt太阳电池制备过程中,制绒清洗是第一道工序,为pecvd制备良好的非晶硅层提供洁净的晶硅表面,所以制绒清洗对于hj...
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