使用自由层交换钉扎的大场范围TMR传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:26101642

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相关申请的交叉引用本申请要求于2019年12月27日提交的美国申请16/729,080的优先权,该美国申请要求于2019年8月26日提交的美国临时专利申请序列号62/891,578的优先权和权益,该两个申请据此全文以引用方式并入。背景技术本公开的实施方案整体涉及具有部分钉扎自由层的磁性隧道结(mtj)的大场范围tmr传感器。相关领域的描述霍尔效应磁性传感器是廉价的,具有大的操作场范围,具有良好的线性度,但具有低灵敏度。另一方面,磁阻(mr)传感器具有大得多的灵敏度(>100x),但通常被设计用于...
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