技术编号：26101894
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请要求于2018年12月20日递交的欧洲申请18214547.4的优先权，所述申请的全部内容通过引用并入本文中。背景本发明涉及能在例如由光刻技术进行的器件制造中使用的方法和设备，并且涉及使用光刻技术来制造器件的方法。本发明更具体地涉及量测传感器。背景技术光刻设备是一种将期望的图案施加至衬底(通常是在衬底的目标部分上)上的机器。例如，光刻设备可以使用于集成电路(ic)的制造中。在这种情况下，可以将可替代地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于产生要在ic的单层上形成的电路图案。可...
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