技术编号:26128964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及芯片生产设备技术领域,尤其涉及一种雷达感应芯片生产用除尘装置。背景技术雷达是通过蝙蝠进而发明的,用无线电的方法发现目标并测定它们的空间位置,雷达是利用电磁波探测目标的电子设备,雷达发射电磁波对目标进行照射并接收其回波,由此获得目标至电磁波发射点的距离、距离变化率、方位、高度等信息,雷达芯片在制作过程中会产生灰尘,影响后续加工和制造;然而现有的雷达感芯片生产设备的除尘效果较差,无法对芯片上的灰尘进行有效清理,降低了加工效率。实用新型内容本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,...
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