技术编号:26138109
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学薄膜材料技术领域,其主要涉及一种预熔化的高折射率光学镀膜材料及其制备方法和应用。背景技术在光学镀膜材料中,可用于电子束蒸镀的高折射率材料选择非常有限,大多数的高折射率材料为钛、锆、铪、钽、铌的氧化物以及它们的混合物或与其他金属氧化物的混合物。本技术领域中,用混合物镀膜可以改变单一氧化物光学膜层的折射率,扩大光学膜系设计对材料的选择范围,以及改善薄膜的应力等特性。然而,由于在这些混合物的材料中,各组份的熔点不同、蒸汽压有差异,如果合成选择组份或比例不当,材料可能在蒸镀过程中组份比例发...
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