技术编号:26138695
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于单晶硅拉制炉用热场工装/部件技术领域,具体涉及一种含si3n4和bn复合涂层的碳陶复合材料坩埚及其制备方法。背景技术目前,在生产单晶硅中使用最多的方法是直拉法:即单晶硅炉拉制单晶硅棒,盛装多晶硅的石英坩埚安放在炭炭复合材料坩埚内。但使用该方法生产时,单晶硅炉内温度高达1500℃,盛放多晶硅的石英坩埚在该温度下将出现软化问题,往往在使用400-500小时后就需要更换,更换过程中由于石英坩埚往往与炭炭复合材料坩埚牢牢地粘在一起,取出时非常费力,大大影响了生产效率和提升了生产成本,同时由于生...
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