技术编号:26144632
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于薄膜封装技术领域,具体涉及一种薄膜封装结构、薄膜封装方法及光电器件。背景技术使用寿命对于商用的光电器件来说至关重要。封装是提高光电器件寿命的一个有效途径。对于光电器件而言,封装层除了起到物理保护的作用之外,更重要的是可以阻隔外界的水氧,防止其渗透到器件内部、加速器件的老化。薄膜一体化封装是一项新的封装技术,其相比于传统的盖板式封装技术,具有质量轻、厚度低和封装成本低等优点。传统的薄膜封装通常为氧化物陶瓷膜封装,氧化物具有储量丰富、价格低廉和硬度高等优点。但是单一的氧化物陶瓷膜导热率小,...
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