技术编号:26145956
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及振动器件的制造方法。背景技术例如,在专利文献1中,作为调整音叉振子的频率的方法,记载了通过照射激光来去除设置在振动臂的前端部的金属膜的一部分的方法。专利文献1:日本特开2009-232376号公报但是,在专利文献1的频率调整方法中,通过激光的照射而被去除一部分的金属膜具有去除了金属膜的一部分的去除部分以及未去除金属膜的非去除部分,去除部分是被照射激光的区域,非去除部分是未被照射激光的区域,在它们的边界形成具有垂直面的台阶。进而,在非去除部分,通过激光的照射而蒸发的金属材料再次附着,由此...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。