技术编号：2618415
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的涉及微机电系统(MEMS)。背景技术微机电系统(MEMS)包括微机械元件、激励器和电子设备。微机械元件可采用沉积、蚀刻或其它可蚀刻掉衬底和/或所沉积材料层的若干部分或可添加若干层以形成电气和机电装置的微机械加工工艺制成。一种类型的MEMS装置被称为干涉式调制器。干涉式调制器可包含一对导电板，其中的一或二者都可为完全或部分地透明和/或反射性的，且能在施加一个适当的电信号时做出相对运动。其中一个板可包含一沉积在一衬底上的静止层，另一个板可包含一通过一气...
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