技术编号：26353553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气浮垫领域，更具体的说，尤其涉及一种多区域微调节气浮垫。背景技术气浮轴承作为超精密测量与加工系统的关键部件，具有清洁、摩阻低、适用速度范围大、适用温度广等优点。气浮垫作为气浮轴承的一种应用，它可通过其底部形成的空气薄层(即气膜)使气浮垫与平面间形成间隙，从而形成一种近似的无摩擦滑动。目前市场上气浮垫存在承载能力差的问题，同时，气浮垫无法应用于平面不够平整的领域。发明内容本发明的目的在于解决上述气浮垫承载能力小、无法应用于平面不够光滑的领域的问题，提出了一种多区域微调节气浮垫，有效提高气...
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