技术编号：26607551
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及一种光学测量装置，特别涉及一种光谱共焦谱域干涉测量装置。背景技术.光谱共焦技术在位移测量以及透光物质厚度测量方面具有诸多应用。早在上世纪七十年代，学者courtney pratt等人提出一种可以使用显微镜物镜的色差进行表面形貌检测的技术；之后molesini等学者使用一组色差经特殊设计的镜头，搭建了一台基于光谱共焦原理的表面轮廓仪；boyde.a等人将其推广应用到了给显微镜领域带来革命性变化的共焦显微镜技术中去。此后，国外很多学者都对基于光谱共焦原理的测量技术进行了深入研究，...
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