技术编号：2664253
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。背景技术发明领域本发明涉及刻印适用于微型制造(micro-fabrication)结构的平版印刷术模板。在此所述的柔顺性模板的特别用途是将图案转移到非平面的表面。相关技术说明微型制造包括制造非常小的结构，例如，具有微米或更小级别特征的结构。推动制造越来越小的结构体的工业领域之一是电子工业。随着电子器件小型化的快速发展，驱动电子器件的集成电路也必须小型化。平版印刷术技术通常被用于制造集成电路。这些平版印刷术通常包括将光敏材料施用于半导体基板。这些光敏材料通常...
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