技术编号:26705492
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种mems气体传感器及制作方法技术领域.本发明涉及气体传感器技术领域,尤其涉及一种mems气体传感器及制作方法。背景技术.蒸发(evaporation)与剥离工艺(lift‑off)组合是一种常用的制作气敏叉指电极的方法。该方法会形成突出于绝缘层的铂叉指电极,或气敏叉指电极,也称为凸型叉指电极。再在凸型叉指电极上采用掠射角沉积(glancing angle deposition,简称glad)方式沉积三维柱状气敏膜层,气敏层会随着凸型叉指电极的起伏会而起伏,导致气敏膜层凸凹不平,即气敏膜层...
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