环状烯烃聚合物和添加剂的光刻胶组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:2672911

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与本申请同时提交的有US专利申请系列No.09/266,343,名称为“环状烯烃聚合物和疏水非甾族脂环族添加剂的光刻胶组合物”;US专利申请系列No.09/266,341,名称为“环状烯烃聚合物和疏水非甾族多脂环族添加剂的光刻胶组合物”;和US专利申请系列No.09/266,304,名称为“环状烯烃聚合物和饱和甾族化合物添加剂的光刻胶组合物”。上述申请的公开内容在本文中引为参考。在微电子工业以及其它工业包括微结构制造(比如,微型机器、磁电阻头等)中,一直都...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

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