含有环烯烃聚合物及饱和甾族添加剂的光刻胶组合物的制作方法技术资料下载

技术编号:2672912

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与本申请同时提交的是标题为“带环烯烃聚合物及疏水非甾族脂环添加剂的光刻胶组合物”序号为09/266343的美国专利申请;标题为“带环烯烃聚合物及疏水非甾族多脂环添加剂的光刻胶组合物”的序号为09/266341的美国专利申请;以及标题为“带环烯烃聚合物及添加剂的光刻胶组合物”的序号为09/266342的美国专利申请,上述申请的公开内容在本文被收作参考资料。在微电子工业及涉及微型结构(例如微型机器,磁阻头等)构建的其他工业中,不断希望减小结构部件的尺寸。在微电...
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