技术编号：2672933
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种陶瓷遮罩在IC制备过程的应用，将以往所使用的光罩改为陶瓷遮罩，并应用在IC制备过程中以达到与光罩相同的功效，可减少光罩数及繁复制备过程并可降低成本。而本发明的陶瓷遮罩为在陶瓷板制造所需图形，放置于晶圆上；如此可以减少光罩的使用及减少使用光罩的成本，更可以减少去光阻等相关配合制备过程。另外，在晶片中有不同的区块及层次，且每一区块及层次都有不同的制备过程，而这些不同的制备过程整合将会非常重要。其中，这些不同的区块及层次的大部分需要高精密准确度的制...
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