技术编号:26729959
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及传感器单晶硅技术领域,具体为一种可改善设备工作效率的传感器单晶硅刻蚀装置。背景技术.硅传感器,是用于医学、军事与航空航天、工业和汽车应用,当受到外力作用时产生微应变,电阻率发生变化,使桥臂电阻发生变化在激励电压信号输出,经过计算机温度补偿、激光调阻、信号放大等处理手段和严格的装配检测、标定等工艺,生产出具有标准输出信号的压力变送器,最普遍、也是设备成本最低的刻蚀方法,其影响被刻蚀物之刻蚀速率的因素有三:刻蚀液浓度、刻蚀液温度、及搅拌之有无,定性而言,增加刻蚀温度与加入搅拌,均...
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