技术编号：2673674
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于半导体技术，特别是指一种可调谐载流子诱导波导光栅。 背景技术布拉格光栅在较窄波长范围内具有选择性反射或衍射的优异特性，能够在光通信、光传感、集成光学方面有着多种用途，如滤波器、谐振器、耦合器、传感器等。波导布拉格光栅能够使波导中传输满足λΒ = NrffA波长的光反射向光入射相反方向，其中λΒ是反射中心波长，Nrff是布拉格波导光栅的有效折射率，Λ是布拉格波导光栅周期。现有的布拉格波导光栅是通过刻蚀、UV光照射等方法在波导芯层或芯层周围光场覆盖区...
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