技术编号：2674053
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光通信用发射模块，更具体地说，是涉及基于垂直腔面发射激光器(VCSEL)列阵的并行光发射模块及制作方法。背景技术 传统光发射模块的光源采用的都是边发射激光器。边发射激光器的特点是输出光垂直于解理面，其光束发散角过大，且在芯片解理前，不能进行单个器件的基本性能测试，不易实现大规模集成，制造成本高。与之相比，垂直腔面发射激光器(VCSEL)具有非常优越的性能和及其低廉的价格。其输出光垂直于衬底，这种独特的表面发光器件结构具有小发散角和对称的远近场分布...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。