半导体器件的制造方法技术资料下载

技术编号:2676849

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本发明涉及其中半导体元件(通常为晶体管)作为器件的半导体器件领域中的布线形成,并且本发明属于降低布线电阻以及其小型化的。背景技术 最近已研发出利用在绝缘表面上形成半导体薄膜(厚度为数百到数千nm数量级)来制造薄膜晶体管(TFT)的技术。TFT广泛应用于集成电路(IC)以及诸如电光器件等半导体器件中,特别是作为显示器件(包括液晶显示器件和发光器件)的开关元件而有迅猛的发展。最重要的是,诸如监控器和电视机等显示装置的应用已显著扩大,且显示装置的大量生产已在进行...
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