激光光源装置及使用该装置的表面检查装置的制作方法技术资料下载

技术编号:2676850

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本发明涉及使用短波长并且输出功率低的激光二极管能提高到所希望的功率的激光光源装置、及使用该激光光源装置的表面检查装置。背景技术 表面检查装置中,以前已经知道一种表面检查装置,是使用激光作为光源装置的光源(参照特开2001-235429号公报)。又知道一种表面检查装置,是利用多个激光作为光源,为了消除照明亮暗不均匀,而使光点部分重叠(参照特开平7-243988号报)。还知道一种表面检查装置,是让光源的光射入光纤(导光手段)的射入端面,再从另一端面射出,照射被...
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