技术编号：2677398
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种亚半微米光刻物镜的恒温水套，属于亚半微米分步重复投影光刻机光刻物镜高分辨力成像。VLSI制造设备分步重复投影光刻机的光刻物镜具有很高的数值孔径，当周围环境温度波动，或自身由于长时间通光引起温度升高，都会引起焦点漂移，产生新的畸变和像散，造成成像质量下降，使其达不到应有的性能和光刻分辨力。本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，而提供一种亚半微米光刻物镜的恒温水套，使物镜内部光学系统长时间工作温度恒定，不受外界环境温度波动影响，而保持光刻...
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