技术编号：2678086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种新型的法布里—珀罗腔(Fabry-Perot，以下简称FP)可调光学滤波器件，更确切地说，本发明涉及一种压电驱动FP腔可调光学滤波器件及制作方法，属于微机械结构领域。已经进入市场的FP可调光学滤波通常采用光纤FP滤波结构，这种结构利用光纤端面作为高反射镜面，在光纤外附着压电拉伸机构，通过压电材料在加电后的伸缩改变两光纤端面的轴向间距，进而改变FP的腔长，从而实现可调滤波(Clayton et al.United States Patent5,...
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