技术编号：2678180
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微电子、微纳光子器件制备等微纳加工领域，特别涉及一种基于紫外LED光源的光刻机。背景技术光刻技术是一种精密的微细加工技术。目前，基于紫外光源的光刻机大多以高压汞灯做曝光光源，采用Hg的i线(365nm)曝光。其存在的主要问题为1、光学系统复杂。汞灯光源属于立体全方位辐照，为实现单一波长均勻辐照，其光学系统包括光栏、快门、准直镜、透镜组(一般需要几十个甚至上百个透镜)、i线滤光片、场镜、反射镜等等。复杂的光学系统成为光刻机价格高昂和小型化的瓶颈...
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