技术编号：26783163
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型涉及真空镀膜领域，特别是一种光电检测装置及真空镀膜设备。背景技术.真空镀膜设备被广泛应用于现代化工业生产，由于其腔体内部环境对温度、洁净度要求及真空度有特殊的要求，通常采用非接触检测的光电传感器检测镀膜的工件。.现有的真空镀膜设备一般在腔体的侧壁开设有与其内部相连通的连通孔，连通孔处密封安装有透明玻璃件，真空镀膜设备的外部设置有一与透明玻璃件相对应的光电传感器，光电传感器的发射器发射的光束穿过透明玻璃件，光电传感器的接收器检测由工件反射的光或遮挡的光的变化，从而获得检测信号，完...
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