技术编号：26784655
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型提供一种气浮式吸取装置，且特别是关于一种结合气浮吸引以及抽气吸附的气浮式吸取装置。背景技术.在半导体及精密电子产业的制程当中，经常需要使用吸取装置将芯片或电路板等物体移动至指定的位置，依据吸取方式的不同，可大略分为气吸及磁吸两种类别。在气吸种类的吸取装置中，部分装置会直接利用吸嘴吸气产生负压，使得物体附着在吸嘴上后进行移动，也有部分装置通过特殊设计的气流通道，以改变流体流速的方式产生相对负压并吸附物体。然而，上述方法在个别使用时，前者无法确认物体是否位于吸嘴产生的负压范围内，容易...
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