技术编号:26786638
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。阴极驱动单元、溅射阴极和用于组装阴极驱动单元的方法.领域.本文描述的实施方式涉及通过从靶溅射而进行的层沉积。特别地,本公开内容的实施方式可涉及一种可旋转阴极和一种阴极驱动单元(cdu)。一些实施方式特别地涉及在大面积基板上溅射层。本文描述的实施方式具体地涉及一种溅射沉积设备,所述溅射沉积设备包括一个或多个阴极组件,特别是具有用于旋转阴极、特别是可旋转(即,圆柱形)阴极的阴极驱动单元的可旋转阴极组件。.背景.在许多应用中,必需在基板上沉积薄层。可在涂覆设备的一个或多个腔室中涂覆基板。可使用...
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